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(富士康)软性基板镀膜治具

专 利 号:CN200810304671.1 专利类型:发明专利
所属行业:机械/加工/设备 - 零部件 有效期限:2008-09-25 至 2028-09-25
价格加载中... 交易方式: 转让
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    专利详情

    本发明涉及一种软性基板镀膜治具,其用于支撑一待镀膜的软性基板。该软性基板镀膜治具包括至少一个转动体、一个用于活动架设该转动体的支架及一个电机。该待镀膜的软性基板首尾相接并包覆该转动体。该电机包括一个转轴,该转轴固定在该至少一个转动体的一端。该转轴带动该转动体转动,以通过该待镀膜的软性基板带动该至少一个转动体转动,从而使待镀膜的软性基板进行移动镀膜,起到模仿磁控溅镀机台的效果,易于确定镀膜参数同时提高了镀膜参数的精度。 (软性基板镀膜治具 专利转让 富士康专利)

    注:价格为专利祼价,未包含转让官方费用

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