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(富士康)溅镀载具及包括该溅镀载具的溅镀装置

专 利 号:CN200910305618.8 专利类型:发明专利
所属行业:化工/冶金/生物 - 工业原料 有效期限:2009-08-14 至 2029-08-14
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    专利详情

    本发明涉及一种溅镀载具及包括该溅镀载具的溅镀装置。该溅镀装置还包括驱动装置。该溅镀载具包括顶盖、底盖、多个容置件及多个挡板。该底盖与顶盖相对。该多个容置件相互隔开,用于收容待镀工件。各容置件的两端分别转动地连接于顶盖和底盖。各挡板设于相邻两容置件之间,且两端分别连接于顶盖和底盖,其与该顶盖、底盖和多个容置件配合围合形成封闭腔体。该驱动装置与该溅镀载具相连,用于驱动该溅镀载具围绕平行于顶盖和底盖中轴线的直线转动,并驱动各容置件还同时绕自身中轴线转动。本发明的溅镀装置可避免靶材之间毒化,提高镀膜品质。(溅镀载具及包括该溅镀载具的溅镀装置 专利转让 富士康专利)

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